環境と設備
関西文化学術研究都市の拠点として整備された 「津田サイエンスヒルズ」に立地。枚方市内を一望する静かで美しい高台は、先進の研究を育むにふさわしい環境です。社屋はゆとりある設計で、広々としたロビーやオフィススペースがお客様をお迎え。イオン注入や成膜装置のある研究室はクリーンルーム対応という、こだわりも備えています。
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中電流イオン注入装置
- 200keV(B) イオン注入装置の紹介
- 200keV(C) イオン注入装置の紹介
- 400ke Vイオン注入装置の紹介
■ 高エネルギーイオン注入装置
- 8MeV イオン注入装置の紹介
■ 高温高速アニール装置
- 高温高速アニール装置の紹介
■表面分析
- 二次イオン質量分析（SIMS）の紹介
- X線光電子分光分析（ESCA・XPS）の紹介
- ラマン分光分析（RAMAN）の紹介
- ラザフォード後方散乱分析（RBS）の紹介
■微小領域形態観察
- 透過電子顕微鏡（HR-TEM）の紹介
- 走査電子顕微鏡（HR-SEM）の紹介
- ナノ微小硬度計（Nano Indentation）の紹介
- 原子間力顕微鏡（AFM）の紹介
- X線回析装置（XRD）の紹介
■熱分析
- 示差熱重量分析(TGD)の紹介
- 示差走査熱量分析(DSC)の紹介
- 比熱測定(SHM)の紹介
- 全方位型イオン注入装置（PBII）の紹介
- スパッタ蒸着装置の紹介
- イオンプレーティング装置（IP）の紹介
- イオンビームスパッタリング（IBS）
- UBMS装置の紹介